MEMS+メッキ「サンドイッチ」立体微細構造を実現

マッムスコンサルティングによると、小野田製作所と長野県工業技術センターの精密電子航空技術部はこのほど、金属材料と樹脂材料を組み合わせた複合立体微細構造を開発し、極めて微小なセンサーや電子機器を製造できると発表した。

このプロジェクトは協力双方の技術優位性を利用して、革新的なMEMS技術に基づいて開発された。このうち、小野田製作所は機械的強度と電気的特性に優れためっき技術を提供し、長野県工業技術センターはMEMS技術と評価技術を提供している。

この技術により、0.01 mm以下の加工精度で、曲線や微細凹凸の複雑な微細構造を作製することができる。同時に,導電性金属材料層の作製プロセスを最適化し,良好な機械的強度と電気的性質を実現した。さらに，金属‐絶縁材料‐金属の「サンドイッチ」構造を利用することにより，2層の金属材料を絶縁材料を介して密接に結合させることに成功した。この立体微細構造の製造は,MEMS製造におけるリソグラフィ技術とめっき技術を組み合わせたプロセスを採用しており,大規模量産後には製造コストを効果的に低減できる。

この革新技術はマイクロセンサと電子デバイスの開発に用いることができ,新製品のサイズを従来の技術案の10分の1以下に大幅に削減した。小野田製作所と長野県工業技術センターはすでに委託加工サービスの提供を計画している。